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??? 日前，中國長城“晶圓多焦點(diǎn)激光隱形切割設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”入選鄭州市2020年度重大科技創(chuàng)新專項(xiàng)，為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)升級再添新動(dòng)力，也進(jìn)一步夯實(shí)了中國長城高端智能制造裝備的發(fā)展實(shí)力。

??? 晶圓多焦點(diǎn)激光隱形切割設(shè)備由中國長城旗下鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院（以下簡稱“鄭州軌交院”）與河南通用智能裝備有限公司聯(lián)合攻關(guān)開發(fā)，2020年5月研發(fā)成功。

??? 設(shè)備采用的激光隱形切割技術(shù)，相比傳統(tǒng)水切和激光表切，具有激光焦點(diǎn)小、無晶圓碎裂、無環(huán)境污染等優(yōu)點(diǎn)。
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??? 產(chǎn)品研發(fā)成功后，鄭州軌交院組織重點(diǎn)行業(yè)用戶進(jìn)行了設(shè)備試用，用戶反饋顯示，該款產(chǎn)品的切割效率、良品率均比同類競品更高。特別是與國外半導(dǎo)體切割智能裝備相比，鄭州軌交院主導(dǎo)研發(fā)的晶圓多焦點(diǎn)激光隱形切割設(shè)備，在焦點(diǎn)數(shù)量、焦點(diǎn)動(dòng)態(tài)補(bǔ)償、加速度、切割速度、最大運(yùn)行速度、開機(jī)率等重要參數(shù)上具有明顯優(yōu)勢，可滿足不同材質(zhì)切割的嚴(yán)苛工藝要求。

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??? 專家認(rèn)為，我國首臺(tái)晶圓多焦點(diǎn)激光隱形切割設(shè)備研制成功，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，打破了國外對激光隱形切割技術(shù)的壟斷，標(biāo)志著我國激光隱形晶圓切割技術(shù)取得實(shí)質(zhì)性重大突破，對進(jìn)一步提高我國智能裝備制造能力具有里程碑式的意義。
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??? 該裝備的成功研制也創(chuàng)立了央企、民企共扛使命，資源互補(bǔ)、平臺(tái)共享、集智創(chuàng)新的新模式，是央企、民企聯(lián)合解決國家重大智能裝備制造瓶頸問題的成功典范。